nieuws

Mini-cleanroom heeft vorm van gewone kast

bouwbreed

Weiss Technik Benelux heeft een mini-environment cleanroom voor high-tech produktie, laboratoria, verffabrikanten enzovoorts ontwikkeld. Met een dergelijke cleanroom in de vorm van een op het oog ‘gewone’ kast, zijn produkties, waarbij zeer zuivere stofvrije lucht wordt vereist, tot de kast te beperken.

De mini-cleanroom, ter grootte van een cv-ketel, wordt afhankelijk van de soort produktie of verwerking van materialen zodanig ingericht, dat de werkzaamheden volautomatisch zijn te verrichten. Er komen derhalve geen mensen aan te pas, wat op zich al voorkomt dat de hygiene wordt verstoord.

Er is volgens Weiss Technik Benelux BV te Rotterdam een tendens om naar steeds kleinere cleanrooms te streven. Dat heeft direct te maken met de kosten van dergelijke voorzieningen. Voorheen trachtte men hele gebouwen ‘clean’ of gewoon schoon te houden, voor de produktie van speciale stoffen zoals speciale pigmenten voor verf, oplosmiddelen of produkten zoals chips.

Later werd een speciale ruimte binnen het geheel van een complex daarvoor gereserveerd. Daarover schreven we reeds in Cobouw. In dit soort ruimten is de mens nog steeds aanwezig. Deze cleanrooms in een gebouw zijn al een behoorlijke stap vooruit. Dit zowel in de zin van kostenbesparing van de bouw als geheel, alsook in de zin van energiebesparing.

Het stofvrij houden met behulp van afzuig- en filtersystemen kost tamelijk veel energie. Een derde stap is nu dus gemaakt door Weiss Technik, die deze stofvrije ruimten beperkt tot een kast, die gewoon in elk gebouw is te plaatsen en waarin de produktie of bewerking geautomatiseerd plaatsvindt.

Met de kast is een hoge luchtzuiverheid te bereiken. Zo heeft het bedrijf onlangs de ‘tailor-made’ ontwikkeld voor de luchtbehandeling bij het vervaardigen van de 64 Mb (Mega-bite) en de 256Mb chip. Hierbij worden extreem hoge eisen aan de luchtzuiverheid gesteld. Bovendien moet de temperatuur hierbij volkomen constant blijven.

Verschillende stappen

De luchtbehandeling in de kast vindt plaats in verschillende stappen. De lucht wordt aangezogen door een roestvaststalen toevoerapparaat. Hierdoor komt lucht van een cleanroomklasse 1000 binnen. De lucht wordt over een koeler gevoerd en door een HEPA-filter.

De luchthoeveelheid is traploos te regelen en wordt automatisch constant gehouden. De constante die hierbij wordt gehanteerd bedraagt ongeveer 30 m3/h. Deze voorbehandelde lucht wordt naar drie posities van de waferbehandelingsruimte gevoerd.

Op deze wafers (flinterdunne schijfjes) worden uiteindelijk de chips gemonteerd. Deze lucht-stromen worden weer samen gevoegd en over een ‘absoluutfilter’ (ULPA) gevoerd. De langs de produktieplaats gevoerde lucht wordt vervolgens via een overstromingsconstructie in de cleanroom geleid, waar de eigenlijke chipmontage plaatsvindt.

De hier geconditioneerde lucht bereikt in dit geval een cleanroomklasse van 0,1. De temperatuurconstante bij dit punt bedraagt ongeveer 0,02 gr. K. De gewenste cleanroomklasse en temperatuursconstante is sterk afhankelijk van de aard van het produkt of de bewerking van produkten en is in overleg met Weiss vast te stellen.

Reageer op dit artikel
Lees voordat u gaat reageren de spelregels